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粗糙度轮廓测量一体机

粗糙度轮廓测量一体机

 详情说明

粗糙度轮廓测量一体机技术优势

1、一次测量,实现粗糙度、波纹度、轮廓分析。
2、实现全范围内的粗糙度、波纹度测量。
3、X向采用新型数字式传感器,精度更高,Z1采用自主研发高精度多段式电感传感器。
4、多段式高精度传感器具有超大量程,最大限度保持了传感器的原有精度。
5、采用高刚性高精度免维护直线运动导轨,精密控制系统。
6、采用高速并行数据采集单元,硬件触发、硬件高速采样,无延时;足够密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供最有力的保障。
7、宽范围粗糙度、精密轮廓测量的复合机型。
8、粗糙度、轮廓共用传感器,测量功能切换仅需更换测针即可。


粗糙度轮廓测量一体机具有传统的粗糙测量仪和轮廓仪完整的测量功能

轮廓测量:各种类型工件表面的线要素,点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径,可进行直线度分析、凸度分析。
轮廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度测量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr


SPR2000型粗糙轮廓一体机参数

测量范围

项目

测量范围

分辨率

驱动率

150mm

0.2um

轮廓传感器

15mm

0.45um

粗糙度传感器

±420um

65536:1

立柱

420mm

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轮廓仪部分技术参数

线性精度1

±1.5+0.2Hμm

圆弧2

±2+R/8μm

角度3

±2′

直线度4

0.8μm/100mm

粗糙度部分技术参数

线性精度

±4%

残值噪声

≤0.02μm

重复性

1δ≤2nm

截止波长

0.0250.080.250.82.58

评定长度

λcX234567

运动控制

X轴驱动方式

电动

Z轴驱动方式

电动

X轴驱动速度

0.1~10mm/s

Z轴驱动速度

0.5-10mm/s

注:1H为水平位置上的测量高度;22mmR10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°360°90°的角度块,角边取样长度为5mm4λc2.5mm,测量速度为≤0.3mm/s52mmR10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃,阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得;7、地面震动最大RMS50HZ 2.5μm/s/50HZ 5.0μm/s

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